KTH sätter världsrekord i dimensionsmätning
KTHs insatser har lett till en rekordartad förbättring av optiska profilmätares prestanda. Mätinstrumenten är till stor nytta framförallt för MEMS-industrin (mikroelektromekaniska system). Bakom bedriften står Lars Mattsson, professor i produktionsteknisk mätteknik.
Lars Mattsson har genomfört en kvalitetsutvärdering av mätresurser inom det europeiska forskningnätverket 4M Network of Excellence och undersökt områden där det saknas lämpliga mätmetoder. Ett av dessa är mätning på mikrostrukturer i replikerade plastytor som är mycket större i vertikal led än i horisontell, med exempelvis 100 mikrometer (um) djupa och 10 um smala kanaler.
Genom ett samarbete med Forchungscentrum Karlsruhe i Tyskland fick Lars Mattsson tillgång till ett antal stjärnformade mätobjekt. Dessa har extremförhållanden för höjd och bredd som varierar från 4:1 till 200:1.
- Utrustad med dessa prover har jag genomfört tester på fyra optiska mätinstrument och fann till allas förvåning stora mätfel. Med dessa resultat i bagaget åkte jag till en av de stora amerikanska tillverkarna av optiska profilmätare och redovisade vad jag funnit på deras instrument. En identisk mätning på plats verifierade att felen också fanns i deras nyaste system, berättar Lars Mattsson, som är ansvarig för mätteknikdivisionen inom 4M Network of Excellence.
– Vi kunde nu förbättra instrumentets optik så att vi lyckades mäta 400 um djupa strukturer som var 8 um breda i både botten och toppen, det vill säga ett 50:1 höjd/breddförhållande, vilket är nytt världsrekord för optiska profilmätare. Vissa mätfel i horisontell led kvarstår men är nu nere på enstaka mikrometrar, säger Lars Mattson.
Christer Gummeson