IH2655 Nano- och mikrokomponent-tillverkning och karakterisering 7,5 hp

• Utbildningsnivå

  Avancerad nivå

• Kursnivå (A-D)

  D

• Huvudområde

  Elektroteknik
  

• Betygsskala

  A, B, C, D, E, FX, F

• Kurssida på KTH Social

Lärandemål

Kursen ger studenten en inblick i nano- och mikrokomponent-tillverkning och karakterisering genom teori och praktik. Tillämpningar inom medicin, bioteknik, och molekylär elektronik.

Studenten ska efter genomgången kurs kunna förklara.

* tillverkningsparadigmen top down och bottom up.

* vilka processteg som behövs för respektive metod.

* hur de viktigaste processtegen fungerar.

* vilka fysikaliska principer som är begränsande vid tillverkningen och nedskalningen av en nano- eller mikrokomponent.

* vilken miljöbelastning halvledartillverkningen orsakar och förstå energieffektiviseringsåtgärder som bör beaktas.

Studenten ska efter genomgången laborationskurs ha fått

* tillverka en enkel nanostruktur

* karakterisera den tillverkade strukturen

* mäta elektriskt på en submikrometer halvledarkomponent i den forskningsmiljö som KTHs halvledarlabb, Electrumlaboratoriet erbjuder.

Kursens huvudsakliga innehåll

En översikt av nanotekniken och tillämpningar inom medicin, bioteknik, och molekylär elektronik. Tillverkningsparadigm: top down(utgår från etablerad teknik från mikrokomponentvärlden) och bottom up (utgår från molekyler som kan göras självorganiserande). De viktigaste processtegen i dagens mikroelektronikteknologi. Karakteriseringsmetoder: elektriskt, optiskt, fysikaliskt, kemiskt. Orientering om nanofysik och simuleringsmetoder.

Behörighet

Rekommenderade förkunskaper

En grundläggande kurs i halvledarkomponenter eller halvledarfysik.

Litteratur

Silicon VLSI Technology: Fundamentals, Practice and Modeling, Plummer, Deal and Griffin. Upplaga: 1 Förlag: Prentice-Hall År: 2000. ISBN: 0-13-085037-3

Examination

• LAB1 - Laborationskurs, 3,0 hp, betygsskala: P, F
• TEN1 - Tentamen, 4,5 hp, betygsskala: A, B, C, D, E, FX, F

Krav för slutbetyg

Godkänd laborationskurs (LAB1; 3 hp).
Laborationskursen bedöms P/F, men är förutsättning för att muntlig tentamen ska schemaläggas. Skriftlig labbrapport måste lämnas inom en vecka efter laborationen, annars är maxbetyget E i kursen.
En muntlig tentamen (TEN1; 4,5 hp).
Muntlig tentamen är normalt med två studenter samtidigt och omfattar en timme. Betyg meddelas direkt efter tentamen.

Ges av

ICT/Integrerade komponenter och kretsar

Examinator

Mikael Östling <mostling@kth.se>

Övrig information

Kursen utvärderas och utvecklas i enlighet med KTH:s policy för Kursanalys (se KTH-Handbok 2, Flik 14.1)

Versionsinformation

Kursplan giltig från och med VT13.
Examinationsinformation giltig från och med VT08.