FEK3360 Avancerad hands-on MEMS kurs 10,0 hp

Eleverna kommer att lära sig om mikroelektromekaniska system i introduktionsföreläsningar, och kommer att guidas genom en komplett mikrosystem utvecklingscykel där de kommer att utföra konception, design, tillverkning och karakterisering av sina egna mikrokomponenter. Studenterna kommer att lära sig att använda state-of-the art designverktyg för mikrosystem, inklusive finita element modellering (FEM), CAD layouting, renrumsmikrofabrikationsmaskiner och mätinstrument för att karakterisera elelktriska / mekaniska / optiska egenskaper. 

Efter avklarad kurs kommer studenten kunna:

• utveckla olika aktuatorkoncept för mikrosystem i verkliga tillämpningar,
• modellera, simulera och designa mikrosystem i state-of-the-art design software,
• tillverka mikrosystem i en state-of-the-art renrumslaboratorium för halvledarproduktion,
• karakterisera prestanda hos mikrosystem,
• att analysera felmekanismer och reflektera över möjliga förbättringar
• att själständigt arbeta med forskningsprojekt inom mikroelektromekaniska system

registerad som doktorand på en svensk universitet eller motsvarande

Grundläggande kunskaper i fysik

När kurs inte längre ges har student möjlighet att examineras under ytterligare två läsår.

• EXA1 - Examination, 10,0 hp, betygsskala: P, F

Examinator beslutar, baserat på rekommendation från KTH:s handläggare av stöd till studenter med funktionsnedsättning, om eventuell anpassad examination för studenter med dokumenterad, varaktig funktionsnedsättning.

Examinator får medge annan examinationsform vid omexamination av enstaka studenter.

• deltagande i alla inledande föreläsningar
• projektarbete i grupp
• aktivt deltagande i veckomöten
• att hålla deadlines för inlämningsuppgifter (konstruktion, delrapport och slutrapport)
• godkänd 20 min muntlig presentation av projektresultat
• godkända delrapporter och slutrapporter

Joachim Oberhammer

• Vid grupparbete har alla i gruppen ansvar för gruppens arbete.
• Vid examination ska varje student ärligt redovisa hjälp som erhållits och källor som använts.
• Vid muntlig examination ska varje student kunna redogöra för hela uppgiften och hela lösningen.