Kursen beskriver de mest förekommande processerna och materialen inom mikrofabrikation (fotolitografi, olika typer av deponering och etsning av tunna filmer), de mest avancerade nanofabrikationsprocesserna (elektronstrålelitografi och etsning med hjälp av fokuserad jonstråle) och olika karakteriseringsmetoder och renrumsutrustning. Kursen behandlar fysiken bakom mikro/nanoteknologi (vakuum, plasma, elektronoptik, materialvetenskap, mm) och ger en överblick över den aktuella nanoforskningen och pågående utveckling av processer och material inom mikro/nano- teknologin.
SK2730 Nanoteknologi 7,5 hp
Denna kurs är avvecklad.
Avvecklingsbeslut:
Ingen information tillagd
Information per kursomgång
Kursomgångar saknas för aktuella eller kommande terminer.
Kursplan som PDF
Notera: all information från kursplanen visas i tillgängligt format på denna sida.
Kursplan SK2730 (HT 2008–)Rubriker med innehåll från kursplan SK2730 (HT 2008–) är markerade med en asterisk ( )
Innehåll och lärandemål
Kursinnehåll
Lärandemål
Målsättningen med den här kursen är att förmedla advänbar kunskap för personer verksamma inom yrkesområden som hanterar avancerade frågeställningar och konstruktionsuppgifter inom mikroelektronik, materialfysik och datorteknologi. Kursen kan fungera som en bas för framtida nanoteknologispecialister genom att den förmedlar en förståelse för den grundläggande fysiken för nanotillverkning och nanostrukturer. Med en bättre förståelse efter kursen så kan du:
- utveckla nya processer inom nanofabrication
- välja den bästa tekniken för framstälning av nanostrukturer.
- veta var du skall leta för att fördjupa din kunskap om nanostrukturtillverkning.
Kurslitteratur och förberedelser
Särskild behörighet
Kandidatexamen i fysik eller motsvarande.
Kurslitteratur
The Materials Science of Thin Films by Milton Ohring, Academic Press
Examination och slutförande
Betygsskala
A, B, C, D, E, FX, F
Examination
- INL1 - Hemuppgifter, 2,0 hp, betygsskala: P, F
- TEN1 - Tentamen, 4,5 hp, betygsskala: A, B, C, D, E, FX, F
- LAB1 - Laborationer, 1,0 hp, betygsskala: P, F
Examinator beslutar, baserat på rekommendation från KTH:s handläggare av stöd till studenter med funktionsnedsättning, om eventuell anpassad examination för studenter med dokumenterad, varaktig funktionsnedsättning.
Examinator får medge annan examinationsform vid omexamination av enstaka studenter.
När kurs inte längre ges har student möjlighet att examineras under ytterligare två läsår.
Övriga krav för slutbetyg
Kursen examineras genom skriftlig tentamen (TEN1; 4,5 hp, betygsskala A-F), hemuppgifter (INL1; 2 hp, betygsskala P/F) samt godkända laborationer (LAB1; 1 hp, betygsskala P/F).
Betyg på hel kurs kräver godkänt betyg på samtliga moment och bestäms utifrån betyget på den skriftliga tentamen.
Examinator
Ingen information tillagd
Etiskt förhållningssätt
- Vid grupparbete har alla i gruppen ansvar för gruppens arbete.
- Vid examination ska varje student ärligt redovisa hjälp som erhållits och källor som använts.
- Vid muntlig examination ska varje student kunna redogöra för hela uppgiften och hela lösningen.
Ytterligare information
Kursrum i Canvas
Registrerade studenter hittar information för genomförande av kursen i kursrummet i Canvas. En länk till kursrummet finns under fliken Studier i Personliga menyn vid kursstart.
Ges av
Huvudområde
Fysik
Utbildningsnivå
Avancerad nivå
Övrig information
Studenter som vill läsa denna kurs skall anmäla sig till kurs FK7018 (Nanoteknologi) vid Stockholms Universitet. Kursen kommer att ges av prof. Vladimir Krasnov (SU). Anmälan görs i god tid så som till fristående kurs viawww.antagning.se