SK2730 Nanoteknologi 7,5 hp

Kursen beskriver de mest förekommande processerna och materialen inom mikrofabrikation (fotolitografi, olika typer av deponering och etsning av tunna filmer), de mest avancerade nanofabrikationsprocesserna (elektronstrålelitografi och etsning med hjälp av fokuserad jonstråle) och olika karakteriseringsmetoder och renrumsutrustning. Kursen behandlar fysiken bakom mikro/nanoteknologi (vakuum, plasma, elektronoptik, materialvetenskap, mm) och ger en överblick över den aktuella nanoforskningen och pågående utveckling av processer och material inom mikro/nano- teknologin.

Målsättningen med den här kursen är att förmedla advänbar kunskap för personer verksamma inom yrkesområden som hanterar avancerade frågeställningar och konstruktionsuppgifter inom mikroelektronik, materialfysik och datorteknologi. Kursen kan fungera som en bas för framtida nanoteknologispecialister genom att den förmedlar en förståelse för den grundläggande fysiken för nanotillverkning och nanostrukturer. Med en bättre förståelse efter kursen så kan du:

• utveckla nya processer inom nanofabrication
• välja den bästa tekniken för framstälning av nanostrukturer.
• veta var du skall leta för att fördjupa din kunskap om nanostrukturtillverkning.

Kandidatexamen i fysik eller motsvarande.

The Materials Science of Thin Films by Milton Ohring, Academic Press

När kurs inte längre ges har student möjlighet att examineras under ytterligare två läsår.

• INL1 - Hemuppgifter, 2,0 hp, betygsskala: P, F
• LAB1 - Laborationer, 1,0 hp, betygsskala: P, F
• TEN1 - Tentamen, 4,5 hp, betygsskala: A, B, C, D, E, FX, F

Examinator beslutar, baserat på rekommendation från KTH:s handläggare av stöd till studenter med funktionsnedsättning, om eventuell anpassad examination för studenter med dokumenterad, varaktig funktionsnedsättning.

Examinator får medge annan examinationsform vid omexamination av enstaka studenter.

Kursen examineras genom skriftlig tentamen (TEN1; 4,5 hp, betygsskala A-F), hemuppgifter (INL1; 2 hp, betygsskala P/F) samt godkända laborationer (LAB1; 1 hp, betygsskala P/F).

Betyg på hel kurs kräver godkänt betyg på samtliga moment och bestäms utifrån betyget på den skriftliga tentamen.

David B Haviland

• Vid grupparbete har alla i gruppen ansvar för gruppens arbete.
• Vid examination ska varje student ärligt redovisa hjälp som erhållits och källor som använts.
• Vid muntlig examination ska varje student kunna redogöra för hela uppgiften och hela lösningen.

Studenter som vill läsa denna kurs skall anmäla sig till kurs FK7018 (Nanoteknologi) vid Stockholms Universitet. Kursen kommer att ges av prof. Vladimir Krasnov (SU). Anmälan görs i god tid så som till fristående kurs viawww.antagning.se