Till innehåll på sidan

Avdelningen för mikro- och nanosystem

Avdelningen för mikro- och nanosystem (MST) fokuserar på mikro- och nanoelektromekaniska system (MEMS/NEMS) och dess tillämpningar inom områden som medicin (MedMEMS), bioteknologi (BioMEMS) och komponenter för optik (OptoMEMS) och radiofrekvenssignaler (RFMEMS).

Avdelningen är en del av Institutionen för intelligenta system vid Skolan för elektroteknik och datavetenskap.  

För mer information om avdelningen för mikro- och nanosystem besök vår engelska webbsida .

Forskningsområden

Kalender

Senaste publikationerna

[1]
A. Karimi et al., "A High-Performance 220–290 GHz Micromachined Waveguide Switch Based on Interference Between MEMS Reconfigurable Surfaces," IEEE Transactions on Terahertz Science and Technology, vol. 14, no. 2, s. 188-198, 2024.
[2]
X. Tian et al., "Low-Temperature Integration of Bulk PZT-5H for Enhancing the Performance of MEMS-Based Piezoelectric Ultrasonic Energy Harvesters," i IEEE 37th International Conference on Micro Electro Mechanical Systems, MEMS 2024, 2024, s. 749-752.
Fullständig lista i KTH:s publikationsportal