Kalender
Logga in till din kurswebb
Du är inte inloggad på KTH så innehållet är inte anpassat efter dina val.
Ändra tidsperiod eller vy
| Vecka 3 2012 | Visa i Mitt schema | ||
| Tis 17 jan 13:00-15:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
Lecture 1: Introduction. Technology roadmap. Overview of fabrication flow |
||
| Ons 18 jan 10:00-12:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
Lecture 2 2012.pdf: Wafer fabrication and silicon epitaxy |
||
| Vecka 4 2012 | Visa i Mitt schema | ||
| Mån 23 jan 13:00-15:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
Lecture 3: Wafer clean and wet processing Because of time restictions the screening of the movie "Silicon Run" is postponed. |
||
| Ons 25 jan 13:00-15:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-439 (Ka-FORUM 439)
|
|||
| Vecka 5 2012 | Visa i Mitt schema | ||
| Mån 30 jan 13:00-15:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
|||
| Ons 1 feb 10:00-12:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
Lecture 5: Oxidation of silicon |
||
| Vecka 6 2012 | Visa i Mitt schema | ||
| Ons 8 feb 10:00-12:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
Lecture 6, part 1: Annealing (FA & RTA Lecture 6, part 2: Diffusion and ion implantation Lecture Notes: Lecture 6 |
||
| Fre 10 feb 10:00-12:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
Lecture 7: Deposition of dielectrics and metal gate stacks Lecture Notes: Lecture 7 |
||
| Vecka 7 2012 | Visa i Mitt schema | ||
| Ons 15 feb 10:00-12:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
|||
| Fre 17 feb 13:00-15:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
Lecture 9: Microlithography |
||
| Vecka 8 2012 | Visa i Mitt schema | ||
| Tis 21 feb 13:00-15:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
Lecture 10: Thin film deposition / Back-end processing |
||
| Ons 22 feb 10:00-12:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
Lecture 11: Process integration: MOS and Bipolar |
||
| Vecka 9 2012 | Visa i Mitt schema | ||
| Tis 28 feb 13:00-15:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
|||
| Ons 29 feb 10:00-12:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
|||
| Vecka 10 2012 | Visa i Mitt schema | ||
| Mån 5 mar 13:00-15:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
|||
| Ons 7 mar 13:00-15:00 | Föreläsning | ||
|
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats:
Ka-431 (Ka-FORUM 431)
|
|||