Till KTH:s startsida Till KTH:s startsida

Logga in till din kurswebb

Du är inte inloggad på KTH så innehållet är inte anpassat efter dina val.

Gruppwebben som samarbetsyta stängs 31 december 2026. Du som administratör behöver nu exportera gruppens innehåll och/eller radera gruppen.

Observera: Från och med den 1 oktober 2026 kommer delar av gruppwebben som inte längre används, successivt att stängas ned, exempelvis gruppwebbar som redan har flyttats eller varit inaktiva under en längre tid.

Mer information hittar du i nyheten: Gruppwebben och Social stänger hösten 2026. Stöd och instruktioner för hur du exporterar en gruppwebb finns i: Gruppwebben som samarbetsyta stängs hösten 2026.

Ändra tidsperiod eller vy
Vecka 3 2012 Visa i Mitt schema
Tis 17 jan 13:00-15:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)

Lecture 1: Introduction. Technology roadmap. Overview of fabrication flow

Ons 18 jan 10:00-12:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)

Lecture 2 2012.pdf: Wafer fabrication and silicon epitaxy

Vecka 4 2012 Visa i Mitt schema
Mån 23 jan 13:00-15:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)

Lecture 3: Wafer clean and wet processing

Lecture 3 PDFs

Because of time restictions the screening of the movie "Silicon Run" is postponed.

Ons 25 jan 13:00-15:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-439 (Ka-FORUM 439)
Vecka 5 2012 Visa i Mitt schema
Mån 30 jan 13:00-15:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)

Lecture 4: Electrical characterization

Slides for todays lecture.

PDF

Ons 1 feb 10:00-12:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)

Lecture 5: Oxidation of silicon
Lecture 5 - Spring 2012.pdf

Vecka 6 2012 Visa i Mitt schema
Ons 8 feb 10:00-12:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)

Lecture 6, part 1: Annealing (FA & RTA Lecture 6, part 2: Diffusion and ion implantation

Lecture Notes: Lecture 6

Fre 10 feb 10:00-12:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)

Lecture 7: Deposition of dielectrics and metal gate stacks

Lecture Notes: Lecture 7

Vecka 7 2012 Visa i Mitt schema
Ons 15 feb 10:00-12:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)


Lecture 8: Dry etching

 

Lecture Notes: Lecture 8

Fre 17 feb 13:00-15:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)

Lecture 9: Microlithography

Lecture 9 Litho.pdf

Vecka 8 2012 Visa i Mitt schema
Tis 21 feb 13:00-15:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)

Lecture 10: Thin film deposition / Back-end processing

Thin film deposition / Back-end processing PDFs

Ons 22 feb 10:00-12:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)

Lecture 11: Process integration: MOS and Bipolar
Lecture Notes: Lecture 11

Vecka 9 2012 Visa i Mitt schema
Tis 28 feb 13:00-15:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)
Ons 29 feb 10:00-12:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)
Vecka 10 2012 Visa i Mitt schema
Mån 5 mar 13:00-15:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)
Ons 7 mar 13:00-15:00 Föreläsning
VT 2012 TNTEM
Föreläsning
Plats: Ka-431 (Ka-FORUM 431)